日本Union DH2高精度非接觸深度測(cè)量顯微鏡
采用光學(xué)和非接觸方法探測(cè)焦距的方法，測(cè)量不會(huì)給樣品造成變形或劃痕等影響，這些往往是采用物理性接觸測(cè)量時(shí)產(chǎn)生的?；谀繕?biāo)分光方法原理的精密聚焦指示器的應(yīng)用，以簡(jiǎn)單地把兩個(gè)目標(biāo)標(biāo)志部分重合起來(lái)進(jìn)行高精度的測(cè)量..

XY測(cè)量精度0.2微米, Z軸測(cè)量精度0.1微米或1微米可選.

Union DH2-AM 高精度自動(dòng)深度測(cè)量顯微鏡
DH2-AM 是電腦控制自動(dòng)高度、深度測(cè)量系統(tǒng)。集成了高精度的圖像自動(dòng)聚焦，高精 密的脈沖移動(dòng)平臺(tái)和HISOMET-II (DH2)的光學(xué)系統(tǒng)。
◎ 高精度的圖像自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的測(cè)量結(jié)果和gao jing 度是很可靠的，沒(méi)有人為的因素。
◎ 通過(guò)電腦控制，可以完成多點(diǎn)的自動(dòng)連續(xù)測(cè)量，高級(jí)的資料處理軟體可以有效的提高測(cè)量時(shí)間。

UnionDH2 輔助對(duì)焦顯微鏡 hisomet深度測(cè)量功能：
非接觸測(cè)量微細(xì)的撞擊、臺(tái)階等。
◎ 通過(guò)高精度的光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測(cè)和完美的聚 焦指示器完成高效的測(cè)量
◎ 簡(jiǎn)單的操作
◎ Z軸測(cè)量行程可從幾個(gè)μm 到10mm
◎ 同時(shí)還可以完成測(cè)量點(diǎn)的表面觀察

觀 測(cè) 頭： 三目
Z軸測(cè)量范圍： 0.1μm 讀數(shù)，10mm 行程   25MM
Z軸測(cè)量精度： 3σ=1μm (40×)
光學(xué)鏡身： 的自動(dòng)聚焦單元
物 鏡： 5× - 100×
測(cè)量軟體： 4種模式
資料處理軟體： 顯示大值，小值，平均值，標(biāo)準(zhǔn)偏差值等

測(cè)量臺(tái)大小 100*100 50*100 300*200 200*100 300*300

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