測(cè)量時(shí)通過計(jì)算機(jī)控制徽驅(qū)動(dòng)裝置的進(jìn)給帶動(dòng)參考鏡的進(jìn)給，這樣被測(cè)樣本表面的不同高度平面就會(huì)逐漸進(jìn)入干涉區(qū)，如果在充足的掃描范圍內(nèi)進(jìn)給，被測(cè)樣本表面的整個(gè)高度范圍都可以通過較佳干涉位置。將每步的干涉圖樣由圖像傳感器采集，視頻信號(hào)通過圖像采集卡轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)并存儲(chǔ)于計(jì)算機(jī)內(nèi)存中，利用與被測(cè)面對(duì)應(yīng)的各像素點(diǎn)相關(guān)的干涉數(shù)據(jù)，基于白光干涉的典型特征，通過采用某種較佳干涉位置識(shí)別算法對(duì)干涉圖樣數(shù)據(jù)進(jìn)行分析處理，提取出特征點(diǎn)位置較佳干涉位置J，進(jìn)而就很容易得到各像素點(diǎn)的相對(duì)高度，這樣便實(shí)現(xiàn)了對(duì)三維形貌的測(cè)量。

 

　　以往，表面形態(tài)的測(cè)量方法，一般是采用觸針式粗糙度測(cè)量?jī)x等進(jìn)行二維測(cè)量（線＋高差），但近年來，伴隨著材料的薄膜化和微細(xì)構(gòu)造化的加速，需要獲取更多的信息，因此，采用掃描型白光干涉顯微鏡*2和激光顯微鏡*3等進(jìn)行三維測(cè)量（面＋高差）便得到了靈活應(yīng)用。

 

　　基恩士激光三維輪廓儀的技術(shù)特點(diǎn)：

　　常規(guī)的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)的結(jié)合。

 

　　雙模式操作（針尖掃描和樣品臺(tái)掃描），即使在長(zhǎng)程測(cè)量時(shí)也可以得到小區(qū)域三維測(cè)圖。

 

　　針尖掃描采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式，三維掃描。樣品臺(tái)掃描使用高級(jí)別光學(xué)參考平臺(tái)能使長(zhǎng)程掃描范圍。

 

　　在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對(duì)樣品直接觀察。

 

　　針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，同時(shí)擁有寬闊測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍及亞納米級(jí)垂直分辨率

 

　　軟件設(shè)置恒定微力接觸。

 

　　簡(jiǎn)單的2步關(guān)鍵操作，友好的軟件操作界面。